Halbleiter sind die Grundlage für Fortschritte bei Rechenleistung, Datenspeicherung, Kommunikation und Digitalisierung. Gleichzeitig steigen die Anforderungen an ihre Fertigung: Strukturen werden kleiner und komplexer, Innovationszyklen kürzer und Produktionsmengen größer. Um Qualität, Ausbeute und Wirtschaftlichkeit zu sichern, müssen selbst kleinste Bewegungen mit höchster Präzision ausgeführt und sensible Prozesse zuverlässig geregelt werden.

HOERBIGER bietet dafür ein breites Spektrum an Technologien. Hochdynamische Positioniersysteme von PI bewegen und stabilisieren Komponenten bis in den Nano- und Subnanometerbereich. Drehdurchführungen und Schleifringe von Deublin übertragen Medien, Strom und Signale zuverlässig in der Wafer-Fertigung. Ultraschnelle Piezo-Proportionalventile von HOERBIGER ermöglichen zugleich eine präzise und energieeffiziente Regelung sensibler Prozessschritte.

Auch in der Quantenoptik schafft Präzision die Voraussetzung für den Übergang aus dem Labor in die industrielle Fertigung. Technologien für Siliziumphotonik und integrierte photonische Schaltkreise unterstützen die Entwicklung und skalierbare Produktion neuartiger Quantenanwendungen.